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成都電子廠潔凈車間防靜電設計

文章來源 成都凈化工程公司 作者:成都電子廠設計 時間:2021-03-10 17:41

電子工業潔凈室常根據生產工藝要求設置防靜電環境,以便抑制靜電的產生,將已產生的靜電迅速、安全地排除。下面筆者就談下電子廠潔凈車間防靜電設計。


在進行電子廠潔凈車間設計時首先要明確控制的靜電電位,該值≤100V為一級,≤200V為二級,≤1000V為三級,其適用場所分別是半導體器件、集成電路和具有一級靜電敏感的電子產品制造和測試場所;對靜電敏感的精密電子儀器和器件制造和測試場所;除去一、二級以外的電子器件和整機的組裝調試場所。


在潔凈室設計中為了減少靜電事故,除了產品本身的保護措施外,設計者的責任就是設法減小起電程度。減小起電程度并加速電荷的泄漏,可以通過物理的和化學的方法實現。物理方法有選擇合適的材料、接地和調節空氣濕度。


1、材料分三種類型:導電材料、靜電耗散材料和抗靜電材料。表面電阻率低于每單位面積105歐姆,是導電的材料;每單位面積達到106~109歐姆,是靜電耗散的材料;每單位面積達到1010歐姆~1014歐姆,是抗靜電的材料。

如果器件已獲得電荷,并與高電導率的已接地表面相接觸,該電荷將迅速排掉,使電流水平可能達到足夠高,以致可損害該器件可采用靜電耗散材料來減慢放電速率,以減少過快放電帶來的損害。抗靜電材料則具有低靜電產生能力,也可比較慢地排掉電荷。


2、接地是消除導體上靜電荷的一種有效方法這種方法簡單、可靠,不需要很大的費用。接地必須符合安全技術規程的要求。

即使已采用了其他防靜電的方法,工作點的工藝設備、試驗和測量設備的所有金屬和導電的非金屬部分仍都必須接地。

防靜電的接地裝置和電氣安全接地裝置應連接在一起。對于坐著進行操作的人員,建議穿抗靜電工作服,人體通過抗靜電工作服和抗靜電坐墊接地。


3、調節濕度法是降低起電程度的簡單方法之一,是將生產車間中空氣的相對濕度提高到65%~70%。此時大多數介質面層的表面上都凝聚有一層厚厚的水膜。水膜中常含有大量溶解物質的離子,因而介質的表面電導率隨濕度的提高而提高。提高濕度尤其能使衣服纖維材料的起電性能降低。


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