1、凈化車間內照明光源，宜采用高效熒光燈。若工藝有特殊要求或照度值達不到設計要求時，也可采用其它形式光源。
2、凈化車間內一般照明燈具為吸頂明裝。如燈具嵌入頂棚暗裝時，其安裝縫隙應有可靠的密封措施。凈化車間內不應采用格柵型燈具。
3、無采光窗潔凈區工作面上的照度值，不應低于下表規定的數值。
4、無采光窗潔凈區混合照明中的一般照明，其照度值應按各視覺等級相應混合照度值的10%～15%確定，并不低于200lx。
5、凈化車間內一般照明的照度均勻度不應小于0.7。
6、潔凈廠房備用照明的設置應符合下列要求：
a、潔凈廠房內應設置備用照明。
b、備用照明宜作為正常照明的一部分。
c、備用照明應滿足所需場所或部位進行必要活動和操作的最低照度。
7、潔凈廠房內應設置供人員疏散用的應急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道轉角處應按現行國家標準設置疏散標志。在專用消防口處應設置紅色應急照明燈。